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HONEYWELL    TK-PRS021 51404305-375        

遇事无难易，而勇于敢为。——欧阳修《尹师鲁墓志铭》 

混合式步进电机是指混合了永磁式和反应式的优点。它又分为两相和五相：两相步进角一般为1.8度而五相步进角一般为 0.72度。这种步进电机的应用较为广泛，也是本次细分驱动方案所选用的步进电机。 ​

　　步进电机的一些基本参数： 

　　电机固有步距角： 

　　它表示控制系统每发一个步进脉冲信号，电机所转动的角度。电机出厂时给出了一个步距角的值，如86BYG250A型电机给出的值为0.9°/1.8°（表示半步工作时为0.9°、整步工作时为1.8°），这个步距角可以称之为‘电机固有步距角’，它不一定是电机实际工作时的真正步距角，真正的步距角和驱动器有关。

CLX-2500 Comdel FO1336R2 RF Generator AMAT 0190-02702 

Liebert SCC020C-4 Datawave 1 Magnetic

ADTEC AX-2000EUII-N RF  27-286651-00 

Lam Research 852-014681-583 RF  OEM-650A 

Liebert SCC030C-4 

Liebert CAA030C4 30 KVA

RF APEX 1513 AE 0190-31898-000 RF  3156110-205 

MDX AE Advanced Energy 2224-024 

Semilab WT-85 

Fujikin Incorporated WVG-S2-Y-I38 

Fujikin Incorporated WVG-S2-Y-I35 

ADTEC AXR-2000III RF  27-360919-00 

Lam Research 853-11478R002-1 DSQ RF 

Lam Research 853-025903-001-2-C117 Lo-FAT