富士 NB1U56X-01

 二）调节阀的动作不稳定的故障及原因；

1．气源压力不稳定。

原因:①气源总管泄漏；②减压阀故障。

2．信号压力不稳定。

原因:①控制系统的时间常数（T＝RC）不适当；②调节器输出不稳定。

3．气源压力稳定，信号压力也稳定，但调节阀的动作仍不稳定。

原因:①定位器中放大器的球阀受脏物磨损关不严，耗气量特别增大时会产生输出震荡；

②定位器中放大器的喷咀挡板不平行，挡板盖不住喷咀；

③输出管、线漏气；④执行机构刚性太小。MKS Instruments FRCA234B24 

MKS Instruments 649AS1T11CAVR 

MKS Instruments 640A12TW1VA2F 

MKS Instruments 640A11TW1VA2V 

MKS Instruments 1479A-22604  10000 SCCM O2 

MKS Instruments 1479A-22931  10000 SCCM 95%He/5%H2 

MKS Instruments 1479A53CR16M  5000 SCCM N2 

MKS Instruments 2179A22CR1BV--S 

Edwards C4164400  Valve SIPV40PKA 

MKS Instruments  Hose NW50 26" Stainless 

MKS Instruments 223BD-00010AAB 

MKS Instruments 152-1063P 

MKS Instruments  ISO100 ISO-F to NW50

MKS Instruments 51A11TGA1BF003